摘要
微机电系统的主要元件是加速度器,它在恶劣环境下工作,热循环和机械冲击会导致元件的失效,材料疲劳引起的断裂、水蒸气引起性能的降低等现象都需要从原始材料开始进行特性测量,同时对制成品同样需要严格的测量和筛选。这里介绍Analog Devices公司的ADXL250双轴表面型MEMS加速度器的生产测试方法。ADXL250是额定值±50G的加速度器,电容性传感器是关键元件,它形成在Si衬底上,在正交90度的两个灵敏轴对加速度产生反应,静止电容量只有0.1pF,加速度使电容量变化,变化量0.001～0.01pF,由片上的电子电路读出。ADXL250采用14引脚的陶瓷封装,可供表面贴装的印刷电路板使用。
