摘要
提出了超高纯气体输配管路系统的设计目标和该系统安装应达到的技术标准,最终应达到或满足输送气体的中的杂质含量低于ppb级的水平。
The article put forwards design target and install criterion of the super high purity gases distribution piping system, in order finally to get below ppb level of impurity contents in gases.
出处
《洁净与空调技术》
2001年第4期38-42,共5页
Contamination Control & Air-Conditioning Technology
