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应用MEMS技术,可以缩小传感器与探测器的体积——采用晶圆片大小的红外线气体探测器,可以制成体积小,精度高,可靠性也高,但是价格便宜的光学仪器。

MEMS technology shrinks sensors and detectors

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摘要有一家传感器制造商,已经开始应用MEMS技术,在芯片上制造气体探测器样品了.这家公司的专有技术,有可能将体积庞大,价格昂贵的气体与化学品探测器和仪器制作在硅芯片上;这样的探测器,不论从体积大小方面考虑,还是从价格成本方面考虑,都能满足商业化的要求.

作者袁丁

出处《今日电子》 2001年第7期1-1,共1页 Electronic Products

关键词 MEMS技术传感器探测器微电子

分类号 TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学] TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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今日电子

2001年第7期

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