复制微型光学元件的简易方法

本文介绍一种复制微型光学零件的简易方法。采用弹性材料制造原始光学零件的阴模，并采用经紫外线处理的固化胶来制造复制件。生产出的复制零件包括折射和衍射微型光学零件。微型折射透镜的直径为970μm，高度为79μm，衍射元件是一种多级闪耀光栅，其周期（节）为64μm，可采用不同的方法来测量复制零件的特性。对原始球形和复制的年射微型透镜的偏差为0．13λ和0．12λ均方根（rms）。复制的多级闪耀光栅的衍射效率在80％以上。还介绍了一种从平凸型样件复制出平凹型微透镜的方法。