摘要
介绍了纳米半导体材料的定义、性质及其在未来信息技术中的地位,讨论了纳米半导体材料的制备方法。
The concept of nano-scale semiconductor materials,their potential function and role in the information technology are introduced in this article.The fabrication and characterization of these materials are concisely presented also.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2002年第1期9-14,共6页
Micronanoelectronic Technology
基金
国家重点基础研究发展规划项目(G2000068300)
关键词
半导体材料
量子点
制备技术
纳米材料
nano-scale semiconductor materials
quantum dots
fabrication technology
