摘要
报道了一种非常重要的纳米器件———单电子晶体管,介绍了它的原理、基本特性、制备方法及其集成,着重分析讨论了两种新型的单电子晶体管即波导型单电子晶体管和点接触栅型单电子晶体管。
A single-electron transistor,a most important nanodevice,is reported.Its principle of operation,characterization,fabrication and integration are reviewed,with emphasis on two new types of single-electron transistors,one with a electron waveguide and another with in-plane point contact gates.
出处
《微纳电子技术》
CAS
2002年第1期28-32,共5页
Micronanoelectronic Technology
基金
国家自然科学基金(69925410
19904015)资助项目
关键词
单电子晶体管
纳米器件
超敏感探测
纳米加工
single-electron transistors
nanodevices
detecting with super-sensitivity
nanofabrica-tion