摘要
根据现阶段表面硅 IC工艺微机械的特点 ,分析了其接触副与动构件间的相对运动形式 ,探讨了基于此加工技术所开发的薄膜型结构微机械的摩擦源及其摩擦产生机理 ,结合宏机械的发展历史 。
The analysis of contact pairs and opposite movement of moving elements about surface-micromachined MEMS are given in this paper. The source and mechanism of tribology is discussed on this kind of MEMS. Considering the developing history of Macro-machine, the specialities and existing problems of the tribology concerned to MEMS are pointed out.
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期36-39,共4页
China Mechanical Engineering
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 5 9875 0 5 5 )
上海市高校科技发展基金资助项目 ( 96A5 2 )
