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压电驱动微型喷雾器的研究 被引量:11

The Characteristics of a Piezoelectrically Actuated Micro Jet
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摘要 研究开发了一种压电驱动微型喷雾器。利用微机械加工技术 ,制作微米级的喷孔阵列。基于喷墨打印机原理 ,微喷换能器采用压电驱动方式在其较高阶谐振状态下工作。实验分析了这种微喷换能器的阻抗特性、谐振状态下振动特性以及微型喷雾器的工作性能。实验结果表明 ,这种喷雾器喷出的雾滴直径大小集中 ,工作稳定且容易控制喷雾量。 A piezoelectrically actuated micro jet based upon drop-on-demand ink jet principle has been developed.By using MEMS techniques.Nozzle array with the diameter of several microns is fabricated for aerosol administration.Pressure wave generated by the piezoelectric actuator after an electrical pulse,squeezes the liquid out from the small nozzles,forming droplets for use in inhalation drug therapy.The micro jet can work steadily.By modulating of nozzle diameter,this type of micro jets can be widely used in biochemical analysis,drug administration and jet propulsion.The characteristics of the micro jet has been thoroughly studied.Both theoretic analysis and experimental studies have been performed.
出处 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2001年第4期272-274,共3页 Piezoelectrics & Acoustooptics
基金 国家"九七三"基础研究项目(G19990 3310 6) 国家自然科学重点基金资助项目 ( 2 98330 70 )
关键词 压电驱动 微加工技术 工作原理 喷雾器 micro jet piezoelectric actuator MEMS
  • 相关文献

参考文献5

  • 1周兆英 叶雄英 等.微型系统和微型制造技术[J].微米纳米科学与技术,1996,2(1):1-11.
  • 2Chen Pinghei,Int J Mech Sci,1999年,41卷,235页
  • 3毛磊,药用气雾剂,1997年
  • 4周兆英,微米纳米科学与技术,1996年,2卷,1期,1页
  • 5徐芝纶,弹性力学,1982年

共引文献3

同被引文献80

引证文献11

二级引证文献50

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