减少半导体中杂质分布的不均匀性
出处
《现代材料动态》
2002年第1期10-10,共1页
Information of Advanced Materials
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10崔正英,黄渊,孙平,郑永真,施佩兰,卢杰,傅炳忠,潘宇东,董云波,邓玮,张鹏,杨青巍.HL-2A装置孔栏位形下激光吹气注入杂质的初步实验结果[J].核工业西南物理研究院年报,2005(1):3-5.
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