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等离子清洗技术
被引量：
28
Plasma Cleaning Technology
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摘要
环境污染控制 ,人员劳动保护 ,技术应用 ,在高密度电子组装、精密机械制造中 ,湿法清洗工艺日渐局限 ,干法清洗的机理及应用研究日趋紧迫 ,等离子体清洗技术在干法清洗中优势明显。
作者
张国柱
杜海文
刘丽琴
机构地区
UNDP援建中国非ODS清洗设备制造中心
出处
《机电元件》
2001年第4期31-34,共4页
Electromechanical Components
关键词
等离子清洗
工艺
环境污染
电子工业
分类号
X760.5 [环境科学与工程—环境工程]
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