红外传感器及其制作方法

本发明提供一种高灵敏度红外传感器。这种高灵敏度红外传感器的腔体结构中有一个用于支撑传感器部分的支撑件。该支撑件比常规结构的明显地细,因而其截面积大大缩小了,热传导也明显地降低了。此外,由于该支撑件一个区域的绝缘层被蚀刻掉以后嵌入了一层硅牺牲层,这样用于形成支撑腿的绝缘层RIE的宽高比就明显降低了。这种制作工艺简单、方便,它可以进一步提高红外传感器的灵敏度。