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GaAs单片式声表面波存储相关器 被引量:2

Discussion on GaAs Monolithic SAW Memory Correlafor
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摘要 主要介绍了一种利用具有压电特性的半导体材料砷化镓设计和制作的声表面波非线性效应器件 ;声表面波存储相关器 ,对在这种器件的研制过程中所应该注意的一些关键性问题 :如存储时间、离子注入等进行了较为详细的讨论 。 SAW memory correlator is an excellent non linear effect SAW device fabricated on GaAs substrate,in which piezoelectric characteristic is employed Some sensitive issues related to this device,like storage time and ion implantation ect,are also examined in detail
出处 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第1期8-11,共4页 Piezoelectrics & Acoustooptics
关键词 砷化镓 声表面波非线性效应 声表面波存储相关器 存储时间 离子注入 砷化镓 GaAs SAW non linear effect device SAW memory correlator storage time ion implant
  • 相关文献

参考文献5

  • 1无线电陶瓷材料与器件编辑组.声表面波非线性效应器件[M].第一届全国声表面波技术交流文集,1977.
  • 2施敏.半导体物理器件[M].北京:电子工业出版社,1986.
  • 3李智.半导体物理与器件[M].成都:电子科技大学,1985.
  • 4S.K.甘地.超大规模集成电路工艺原理--硅和砷化镓[M].北京:电子工业出版社,1993.
  • 5WAGERS R. Principles of strip-coupled SAW memory correlator[J]. IEEE Transactions on Sonic and Ultrasonic, 1985,32: 5-9.

同被引文献8

引证文献2

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