我国开发的β硼酸钡晶体对半导体研究起着重要作用

据《美国研究与开发》近期报道,美国佐治亚技术研究所的研究人员利用我国开发的β硼酸钡晶体大大改进了有关半导体的研究工作。半导体研究人员传统上是依靠经验方法来研究等离子增强化学蒸镀——一种通常用于喷镀硅和二氧化硅薄膜的工艺。为此研究人员需改变所用化学品的流率和微波场的动力水平,然后再将这些变化和最终结果联系起来。