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我国切割设备的现状与展望 被引量:4

The Present Status and Forecast Of National Wafer Slicing Equipment
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摘要 简述了国内外切割设备的最高水平和发展趋势 ,比较了国内与国外切割设备的差距及我国切割设备发展中存在的问题 ,提出了面对WTO发展我国切割设备应采取的措施和对策。 Describing the abroad and domestic highest technical level and developing trend of the wafer slicing equipment,comparing the domestic wafer slicing equipment with that of abroad and nothing the existing problem in developing national wafer slicing equipment,proposing the measures we should take facing WTO.
作者 靳永吉
出处 《电子工业专用设备》 2001年第2期11-13,44,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词 大直径切割 线锯 半导体材料 可靠性 中国 切割设备 远景 Large Diameter Slicing Wire Saw Semiconductor Material Reliability
  • 相关文献

参考文献3

  • 1堀江.300 mmウエハのダイヤモソド内刃砥石切断技术[J].电子材料,1998,2:22-26.
  • 2阿部孝夫.大口径ウエハのたぬの次世代加工技术[J].电子材料,1996,7:22-28.
  • 3绢谷一朝 金道幸宏.クイセソ—にょる大口径ウエハの切断技术[J].电子材料,1996,7:29-33.

同被引文献66

引证文献4

二级引证文献5

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