摘要
本文报导了一种实用新型单电子晶体管 ,介绍了它的制备方法 ,并讨论了它的应用前景。
A novel single electron transistor with potential applications and its fabrication technique are reported in the paper.
出处
《微电子技术》
2001年第6期45-49,共5页
Microelectronic Technology
基金
国家自然科学基金 (批准号 :6 992 5 410
1990 40 15 )资助项目
关键词
单电子晶体管
纳米器件
纳米结构
纳米加工
Single electron transistor
Nanodevices
Nanostructures
Nanofabrication
