摘要
本文提出了一种基于微光机电系统 ( MOEMS)的新型可编程相位光栅技术 ,并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究 ,同时给出部分数值仿真结果 ,并得出了一些重要的结论。
A new programmable phase grating technology based on the micro optical electrical mechanical system(MOEMS) is proposed in this paper. The principle and theoretical characteristics of this grating are studied and analyzed. Some Simulation results and some important conclusions are presented.
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期67-70,86,共5页
Chinese Journal of Scientific Instrument
基金
国家自然科学基金资助项目69978008
国家教育部高等学校骨干教师首批资助项目
