摘要
范德堡法是测试金属薄膜电阻率的有效方法之一,由于范德堡法测试金属薄膜电阻率的过程较为繁琐,本文采用金属铟为接触电极,设计可集成样品的压力装置和测试电路,能方便、准确、无损伤地表征金属薄膜的表面电阻.根据薄膜厚度和求解范德堡方程,可以高效得到金属薄膜电阻率.
出处
《物理教师》
北大核心
2018年第12期59-61,共3页
Physics Teacher
基金
苏州科技大学天平学院教育教学改革研究重点项目(2017TGJA-01)
苏州科技大学教学改革与研究项目"2017JGMZ-06"
苏州科技大学天平学院教育教学改革研究项目"2017TJGB-09"
江苏省高等教育教改研究立项课题"2017JSJG474"
江苏省十三五重点学科"20168765"和江苏省高校自然科学研究重大项目"17KJA140001"
