航天十三所MEMS工艺线

航天十三所MEMS工艺线坐落于北京市海淀区永丰高新技术产业园,是航天十三所为新型惯性产业而专门建设的微纳加工平台,也是十三所发展军民两用产品的技术创新基地。工艺线采用先进的理念进行设计和布局,配有国际主流的仪器设备,面向硅基MEMS惯性器件的研制与批量生产,同时兼顾其它类型MEMS传感器的工艺制造能力。