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氮化镓垂直沟道结场效应晶体管

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摘要 德国亚琛工业大学在氮化镓(GaN)外延结构中首次实现了垂直沟道结型场效应晶体管(vc-JFET)。垂直器件对于高功率密度应用是很有应用价值的,因为通过该结构将峰值电场从表面推入散装材料,从而避免了对表面钝化或场板的需要。
出处 《半导体信息》 2018年第6期6-7,共2页 Semiconductor Information
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