摘要
提出了一种基于 5 0 0× 5 0 0的针孔阵列的多光束共焦三维测量系统 ,该系统具有测量视场大 ,测量速度快 。
The 500×500 pinhole array is used in the multi-beam confocal system for 3D measurement. The equipment needn't mechanical rotation, thus it is simple in the mechanism, also the measuring field is larger. With the interpolation technique, the 3D profile can be got quickly with high precision
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第3期263-266,共4页
Chinese Journal of Lasers
基金
西安交通大学行动计划A[2 0 0 0 ]0 0 0 0 0 6 3
西安交通大学在职博士基金 99 5 2 2资助项目
