渗氮—气相沉积硬质膜复合处理技术及其发展

渗氮作为一种表面扩散工艺开发至今已70余年,现在使用较为普遍的是气体渗氮和离子渗氮。相对而言,在各种刀具和模具上气相沉积硬质膜却是一项较新的技术。