涡轮分子泵的三十年:评述和近期进展
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8杨乃恒.现代涡轮分子泵的技术现状与展望[J].真空,1996,33(2):1-7. 被引量:8
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9Ligun,SH,王丽.组合分子泵系统中盘式分子泵的设计[J].四川真空,1994(4):8-15.
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10安捷伦科技公司推出了采用独特悬浮轴承技术的小型高真空泵[J].环境化学,2013,32(1):53-53.
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