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微机电系统的进展分析与研究
被引量:
6
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摘要
系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统 ,微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺 ,以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用。介绍了我国在发展微机电系统所做的努力。提出我国必须走研究与应用并重的道路 ,使微机电系统的研究走向产业化 。
作者
刘晓斌
机构地区
兰州工业高等专科学校
出处
《机械研究与应用》
2002年第1期72-75,共4页
Mechanical Research & Application
关键词
微机电系统
微机械器件
加工工艺
产业化
分类号
TH-39 [机械工程]
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机械研究与应用
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