摘要
用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器 。
The sheet resistance of microareas can be obtained from a modified Van der Pauw formula by using an inclined four probe technique. The tip of probe is put at the corner of the microarea by inspection through a microscope. The condition for precise measurement is analyzed. This instrument has been used to measure the sheet resistance distribution for Boron diffusion chip. In the measuring process, a microprocessor was used to speed up the calculation.
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期93-93,共1页
Research & Progress of SSE
基金
国家自然科学基金资助课题 (批准号 692 72 0 0 1)
天津市自然科学基金项目(批准号 0 13 60 2 0 11)
河北省自然科学基金项目 (2 0 0 1年 )
关键词
微区薄层电阻
探针技术
范德堡法
四探针测试仪
sheet resistance for microareas
probe technique
a modified Van der Pauw method
