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标准漏孔校准中若干问题及其解决办法

Errors and Improvement Methods to Calibrate Standard Leaks
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摘要 定容法标准漏孔校准中器壁吸气及规管抽气会产生-(30%~40%)误差.本文提出用氮气清洗器壁以减少其吸放气速率,并以氮气代替空气校准;不扣除本底压强上升速率;规管与校准容器间加装一只阀门以减少规管抽气对校准的影响等办法来减少误差. When calibrating standard leaks by constant volume method, the testing chamber surface adsorption and vacuum gauge pumping may cause extra errors up - (30% -40% ) . We find some methods to eliminate these errors. They include using nitrogen to wash the testing chamber surface and using it instead of air for calibration, not deducing base pressure rising rate, and installing a valve between the gauge and the testing chamber.
出处 《真空电子技术》 2002年第2期39-41,共3页 Vacuum Electronics
关键词 标准 定容法 漏孔校准 吸气 抽气 Leak calibration Adsorption and pumping
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参考文献1

  • 1JJG 793-1992.标准漏孔检定规程[S],1992.

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