极限精密技术的现状及未来——有关纳米技术的概念

日本精密工学学会(即原精密机械学会)于1988年11月17～18日在东京召开了《展望21世纪纳米技术时代的极限精密技术》学术讨论会。会上对即将到来的21世纪加工精度达1nm的超精密技术所提出要求,以及对纳米级领域中应用的加工机械、器件、加工方法、相应的计量测试技术与控制技术等进行了广泛的交流和讨论,并探讨了精密技术的极限等问题。东京理科大学理工学部谷口纪男教授在会上作了综述报告,现根据该学术讨论会论文集谷口纪男的论文作了摘译。