激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用被引量：9

Laser Micromachining and Its Application in the Microf abrication of MEMS

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摘要文章综述了当前MEMS各类微制造技术 ,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点 ,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等 ,以及它们在MEMS微制造中的应用。

作者潘开林陈子辰傅建中

机构地区浙江大学生产工程研究所桂林电子工业学院桂林电子工业学院浙江大学生产工程研究所

出处《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2002年第3期5-7,共3页 Manufacturing Technology & Machine Tool

关键词激光微细加工微机电系统激光LIGA 微细立体光刻微制造

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制造技术与机床

2002年第3期

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