微型激光干涉仪应用于纳米测量机被引量：7

Miniature Laser Interferometers Applied to Nano-Measuring Machine

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摘要本文介绍德国SIOS公司的微型激光干涉仪在德国Ilmenau技术大学纳米测量机 (NMM )研制过程中的应用。简要介绍微型激光干涉仪的工作原理 ,重点论述NMM如何在 2 5mmx 2 5mmx 5mm的空间范围内实现分辨力为 1.

作者陈津平张宝峰胡晓东胡小唐

机构地区天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

出处《计量技术》 2002年第4期6-8,共3页 Measurement Technique

基金教育部重点科技项目 990 2 2

关键词微型激光干涉仪纳米测量机工作原理结构三维测量

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计量技术

2002年第4期

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