摘要
对纳米技术与特种加工进行了简要的分析和讨论 ,内容包括 :微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削。
This paper summarizes the basic concept and principle of nano technology and nontraditional machining, including LIGA, micro EDM and ECM, ultra precision machining, nano fabrication based on SPM.
出处
《电加工与模具》
2002年第2期1-5,共5页
Electromachining & Mould
关键词
纳米技术
特种加工
微细加工
纳米材料
nano technology, nontraditional machining, micro machining
