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纳米半导体材料的评价技术

Critical technology of nano semiconductor material
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摘要 简要地介绍了纳米半导体材料表面形貌、位错缺陷的观测手段与方法以及研究量子点的发光行为和光学性质的手段与方法。 The observation method of the surface form,defection of nano semiconductor material is introduced in this paper,the method in studying of the luminous manner and the optical characteris-tics of quantum dot are also given.
作者 王占国
出处 《微纳电子技术》 CAS 2002年第3期2-5,32,共5页 Micronanoelectronic Technology
基金 国家重点基础研究发展规划项目(G2000068300)
关键词 评价技术 纳米半导体材料 STM AFM TEM RDS nano semiconductor material STM AFM TEM RDS EL PL
  • 相关文献

参考文献14

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