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信息MEMS技术 被引量：8

IT-MEMS technology
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摘要 介绍了信息MEMS技术的研究内容和研究进展,分析了信息MEMS技术对光通信和移动通信的影响,提出了我国发展信息MEMS技术的建议。 The con tent and research progress of IT-MEMS technology is introduced,the in fluences of IT-MEMS technology on optical and mobile communications are analyzed,and how to develop IT-MEMS technology in China is proposed.
作者 赵正平 杨拥军
机构地区 信息产业部电子十三所
出处 《微纳电子技术》 CAS 2002年第3期6-11,45,共7页 Micronanoelectronic Technology
关键词 信息MEMS技术 信息技术 光通信 移动通信 IT-MEMS optical MEMS/MOEMS RF MEMS optical communication mobile com-munication
分类号 TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN92 [电子电信—通信与信息系统]
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  • 1丁占来,王建强,安寸然,任德亮,侯哲哲.SnO_2纳米颗粒多孔薄膜气敏传感器对CO气体的敏感性[J].传感技术学报,2006,19(1):78-80. 被引量：9
  • 2[1]Terry S C,Herman J H,Angel J B.A gas chromatograph air analyzer fabricated on a silicon wafer[J].IEEE Trans Electron Devices,1979,ED-26 1 880.
  • 3[2]Middelhoek S,Audet S A,Silicon Sensors[M].New York:Academic Press,1989.
  • 4[3]Fluitman J.Microsystems technology:objectives [M].Sensors and Actuators,1996,A56:151-166.
  • 5[4]Hirano T.Japanese activities in micromachining [J].MST News,1995,14:14-17.
  • 6[6]上海科技在线学习[Z].http://www.stcsm.gov.cn/fuwuzhinan//ff/fa/know/mue/200107024-m-1.htm.
  • 7[15]Marc Madou.Fundamentals of Micro Fabrication [M].CRC Press,1997.
  • 8[16]Jack W Judy.Microelectromechanical systems(MEMS)fabrication,design and applications[J].J of Smart Materials and Structures,2001(10):1 115-1 134.
  • 9[20]Tong Q Y,Osele G.Semiconductor wafer bonding[J].A Wiley-Interscience Publication,1999.
  • 10[23]Boustedt K,Persson K,Stranneby D.Flip chip as an enabler for MEMS packaging [A].In:2002 Electronic Components and Technology Conference Electronic Components and Technology Conference [C].2002.

引证文献8

二级引证文献65

微纳电子技术
2002年 第3期

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