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MEMS可靠性技术 被引量：6

Reliability technology of MEMS
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摘要 MEMS的可靠性是其能否成功应用的一个关键。本文对MEMS可靠性测试的要求与可靠性测试系统ShiMMeR进行了分析,通过对MEMS的可靠性实验与失效模型的综述,对MEMS的可靠性设计进行了探讨。 One of the key for successful application of MEMS is in proving its reliability.In this pa-per,the reliability testing require for MEMS and reliability testing system ShiMMeR were analyzed,reliability experiments and failure modes of MEMS were summarized,and reliability design for MEMS was discussed.
作者 冯亚林 李莉 李霁红 郝一龙
机构地区 北京大学微电子所
出处 《微纳电子技术》 CAS 2002年第3期29-32,共4页 Micronanoelectronic Technology
关键词 MEMS 可靠性 失效模型 测试 MEMS reliability failure mode testing
分类号 TP271.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 相关文献

参考文献8

  • 1http: //www.mdl.sindia.gov/Micromachine.
  • 2http: //wwwe.lsevier. com/locate/microrel.
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  • 4http: //www.eecs.umich.edu.
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  • 6Tanner D M.Reliability of surface micromachined MicroElectroMechanical actuators.22nd International Conference in Microelectronics, 2000, 97～104.
  • 7Zhao Y P, Yu T X.Failure modes of MEMS and microscale adhesive contact theory. International J NSNU, 2000, 361～372.
  • 8Tanner D M et al.The effect of humidity on the reliability of a surface micromachined microengine. Proc.of IRPS, 1999, 189～197.

同被引文献19

引证文献6

二级引证文献16

微纳电子技术
2002年 第3期

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