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一种高压集成电路工艺的抗辐射加固
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摘要
承接了一项对AT&T公司现有的功率集成电路工艺(BCDMOS)从总剂量、γ剂量率、SEU和中子四方面进行核加固的研究课题。研究工作的重点是加固和优化我们的CMOS、DMOS和npn器件。初步的结果表明,抗核强度比我们原有的商品化产品工艺大大提高。
作者
John C.Desko Jr.
李秉忠
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
1991年第3期45-50,共6页
Microelectronics
关键词
高压集成电路
工艺
抗辐射
加固
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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微电子学
1991年 第3期
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