摘要
高频离子源中应用等离子体化学反应引出金属离子的过程中,总结出了一个基本规律——“氧化——还原——氧化”,“”—”—””,“”—”—””,……。利用此规律,解决了一批金属离子的引出问题。已引出的离子有:Re^+、W^+、Mo^+、Ta^+、Pt^+、Pd^+、Au^+、Ag^+、Nb^+、Ti^+、V^+、Cr^+、Ni^+、Fe^+、Cu^+、Zn^+、Ga^+、Ge^+、Se^+、Si^+、Al^+、Mg^+、Be^+、Li^+、Bi^+、In^+、Sn^+、Pb^+、Cd^+等和稀土离子Y^+、Nd^+、Ce^+、Sm^+、Tm^+、Dy^+、Gd^+、Er^+等。
A basic Principle in the process extracting metal ions by plasma chemical reaction in HF ion source is summarized: 'Oxidation-Reduction-Oxidation',
“”-”-””,“”-”-””, .......Following the principle several metal ions
extaction could be realized.The ions extracted are Re+, W+, Mo+, Ta+, Pt+, Pd+, Au+, Ag+. Nb+. Ti+, V+, Cr+, Ni+, Fe+, Cu+, Zn+, Ga+, Ge+, Se+, Si+, Al+, Mg+, Be+, Li+, Bi+, In+, Sn+, Pb+, Cd+ etc.and rare earths ions Y+, Nd+, Ce+, Sm+, Tm+, Dy+, Gd+, Er+ etc.
出处
《微细加工技术》
1991年第1期31-36,共6页
Microfabrication Technology
基金
国家自然科学基金支持
关键词
高频离子源
等离子体
金属离子
HF Ion source
Plasma chemical reaction
Metal ion extraction
Oxidation-Reduction.