各种形状的静电扫描器灵敏度分析

SENSITIVITY ANALYSIS OF VARIOUS SHAPES OF ELECTROSTATIC SCANNER

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摘要本文用经典物理方法论述了各种形式的静电扫描器的灵敏度。 The sensitivity of various shapes of electrostatic scanner is discussed by the method of classical physics in this paper.

作者蔡仁康

机构地区上海科技大学

出处《微细加工技术》 1991年第3期22-28,共7页 Microfabrication Technology

关键词离子注入机扫描器灵敏度 Scanner Sensitivity

分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学]

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微细加工技术

1991年第3期

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