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2.35μm碲镉汞光伏探测器离子注入工艺研究
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摘要
利用p型Hg_(1-x)Cd_xTe(或简称MCT)组分x=0.44体晶材料,研究了B^+离子注入平面工艺制备2.35μm截止波长12元双线列光伏探测器。探测器主要性能D_λ~平均达4.4×10^(11)cmHz^(1/2)W,λ_p、λ_c比波段要求平均低约3.2%和5.1%。
作者
夏春华
李韶先
机构地区
航空航天工业部三院八三五八所
出处
《红外与激光技术》
CSCD
1989年第4期12-17,共6页
关键词
离子注入
探测器
碲镉汞
光伏型
分类号
TN382.5 [电子电信—物理电子学]
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红外与激光技术
1989年 第4期
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