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微机械及其微细加工技术的现状和应用研究 被引量:11

The Present situation and Applicaton Studyof Micromechanism (MEMS) and their Microfabrication technology
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摘要 本文论述了微机械的概念、特点、研究现状,以及微细加工技术的现状。最后介绍了微机械的应用研究方向。 Abstract: In this article, the concept, the characteristic, study Present state of MEMS, and present state of microfabrication technology are presented. Finally, application study direction of MEMS is introduced.
作者 荣烈润
出处 《机电一体化》 2002年第3期11-13,共3页 Mechatronics
关键词 微机械 微细加工技术 纳米技术 Keywords: micromechnism(MEMS ) microfabrication technology nanometer technology (NT )
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