摘要
本文论述了微机械的概念、特点、研究现状，以及微细加工技术的现状。最后介绍了微机械的应用研究方向。
Abstract: In this article, the concept, the characteristic, study Present state of MEMS, and present state of microfabrication technology are presented. Finally, application study direction of MEMS is introduced.
出处
《机电一体化》
2002年第3期11-13,共3页
Mechatronics
关键词
微机械
微细加工技术
纳米技术
Keywords: micromechnism(MEMS ) microfabrication technology nanometer technology (NT )
