摘要
介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术、外形磨削成型技术的现状。给出LIGA技术在微驱动器中的应用。
Abstract: LIGA process and the actualities of multiple masks technology、replication technology and contour polishingtechnology are introduced. The applications of LIGA technologies in micro - actuators are presented.
出处
《机电一体化》
2002年第3期34-37,共4页
Mechatronics
关键词
LIGA技术
掩摸
复制
微驱动器
Keywords: LIGA technology mask replication micro - actuator
