化学束外延(CBE)技术

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摘要化学束外延是最近几年发展起来的一种新的外延技术．本文在把化学束外延与分子束外延和金属有机物化学气相淀积比较的基础上，介绍了化学束外延的基本原理、生长动力学过程和它的突出优点，同时总结了该技术在半导体材料和光电器件制备方面的应用，最后简要指出了目前它存在的不足之处．

作者宋登元

机构地区河北大学电子系

出处《物理》 CAS 北大核心 1991年第1期23-28,共6页 Physics

关键词化学束外延分子束外延 MOCVD

参考文献9

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物理

1991年第1期

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