纳米硅薄膜被引量：1

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作者何宇亮

机构地区南京大学物理系

出处《物理》 CAS 北大核心 1991年第1期22-22,28,共2页 Physics

关键词纳米硅薄膜非晶态半导体

参考文献3

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物理

1991年第1期

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