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离子镀铝青铜薄膜硬度测量

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摘要 本文讨论了用常规维氏硬度计测量离子镀所得薄膜硬度时所产生的问题,不同载荷下硬度值的变化,以及应如何准确地测量薄膜的硬度,并分析了测量结果。
出处 《物理测试》 CAS 1991年第6期57-58,共2页 Physics Examination and Testing
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