摘要
本文应用光电子能谱(XPS)方法分析Fe离子注入多晶Al_2O_3样品中各离子的存在状态。通过微机对谱峰进行高斯拟合处理,得出注入离子Fe不同价态的相对含量。
In this paper, all ionic states in the polycrystalline Al2O3 implanted with Fe ions are studied by X-ray photoelectron spectroscopy. The Gaussian decomposition of spectra is done by computer, and the relative content of various valence of implanted Fe ion is obtained.
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1991年第6期857-861,共5页
Acta Physica Sinica
基金
中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室资助的课题
