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提高真空镀膜机在物理实验中的利用率

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摘要由于本系实验室的真空镀膜机无法控制镀膜厚度,因而大大缩小了真空镀膜机在物理实验中的应用范围.为了解决有关的物理实验对膜厚的需求问题,笔者设计了本实验,研究了膜厚与蒸镀时间、反射系数以及分束比的关系,提高了真空镀膜机的利用率,为教学和科研提供了方便.

作者王引娣吴银花

机构地区西北师范大学物理系

出处《西北师范大学学报（自然科学版）》 CAS 1991年第2期67-70,共4页 Journal of Northwest Normal University(Natural Science)

关键词真空镀膜机物理实验膜厚镀膜机

分类号 O4－33 [理学—物理]

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西北师范大学学报（自然科学版）

1991年第2期

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