期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

微米与纳米级加工技术 被引量：4

Micro and Nano Machining Technology
下载PDF
导出
摘要 论述了微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削和基于扫描探针技术等微米、纳米级加工技术的原理。 Principles, characteristics and developments of micro machining and nano fabrication are summarized, including micro etching, LIGA, micro EDM and ECM, ultra precision machining and nano fabrication based on SPM.
作者 朱荻
机构地区 南京航空航天大学机电学院
出处 《航空制造技术》 北大核心 2002年第6期22-25,39,共5页 Aeronautical Manufacturing Technology
关键词 微细加工 纳米加工 扫描探针技术 微细刻蚀 Micro machining Nano fabrication Precision
分类号 TH706 [机械工程—精密仪器及机械]
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献1

共引文献5

同被引文献29

  • 1朱荻.国外电解加工的研究进展[J].电加工与模具,2000(1):11-16. 被引量：97
  • 2朱荻,王明环,明平美,张朝阳.微细电化学加工技术[J].纳米技术与精密工程,2005,3(2):151-155. 被引量：42
  • 3陈伦军,李刚,赵万生.微细特种加工的最新研究进展[J].电加工与模具,2006(3):24-28. 被引量：13
  • 4刘定兴,胡先权,周天润.尖端导体表面附近的电场特性[J].重庆师范大学学报（自然科学版）,2007,24(1):56-58. 被引量：3
  • 5Bhattacharyya B,Munda J.Experimental investigation on the influence of electrochemical machining parameters on machining rate and accuracy in micromachining domain[J].Machine Tools & Manufacture,2003,43:1301-1310.
  • 6Kunio Chikamori.Possibilities of electrochemical micromachining[J].International Journal of Japan Society for Precision Engineering,1998,32 (1):2.
  • 7Schuster R,Kirchiner V,Allongue P,et al.Electrochemical micromachining[J].Science,2000,289:98-101.
  • 8Rajurkar K P, Levy G, Malshe A, et al. Micro and nano machining by electro-physical and chemical processes [ J ]. CIRP Annals-Manufacturing Technology, 2006, 55 (2): 643 -666.
  • 9Schuster R, Kirchner V, Allongue P, et al. Electrochemical micromachining[ J ]. Science, 2000, 289 (5476) : 98-101.
  • 10Kock M, Kirchner V, Schuster R. Electrochemical micromachining with ultrashort voltage pulses: A versatile method with lithographical precision [ J ]. Electrochimical Acta, 2003, 48: 3213-3219.

引证文献4

二级引证文献19

航空制造技术
2002年 第6期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部