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φ76.2mm区熔〈100〉单晶硅的研制
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摘要
本文采用正籽晶、平置小内径线圈工艺成功地制备了φ76.2mmFZ〈100〉晶向单晶硅,研究了单晶生长机理与工艺。产品纯度高、质量好,加工性能优于同类产品,已日益得到广泛应用。
作者
辛荣生
章云杰
牛道明
李强
姚进虎
机构地区
洛阳单晶硅厂
出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1991年第4期255-259,共5页
Chinese Journal of Rare Metals
关键词
单晶硅
研制
分类号
TN304.053 [电子电信—物理电子学]
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1
陈世斌.
单晶硅棒在线晶线测量[J]
.太阳能,2017,0(6):27-28.
稀有金属
1991年 第4期
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