摘要
用高频纯氮等离子体为热源的SiCl_4-NH_3-H_2系的高温气相反应,合成得到了白色非晶态Si_3N_4超微细粉。反应系统的结构及材质均能满足高温气相反应的要求。氮化硅超微细粉呈球形、均匀、分散性好,平均粒径小于50nm,比表面积大于70m^2/g。粉末产品纯度高,Fe、Al、Ca、Mg等金属杂质均小于0.01%,含碳量小于0.05%,含氧量小于2%。主相成分中含氮量大于37%,含硅量大于57%。
出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1991年第6期416-421,共6页
Chinese Journal of Rare Metals
基金
国家高技术八六三计划资助项目