用化学方法从失效硅钼元件中分离钼圆片和单晶硅

本文介绍了一种从失效硅钼元件中有效地分离钼元件与硅的化学方法。该化学工艺能有效地去除钼元件表面的杂质层,并能保持钼元件原有的性状,可重新用作钼元件产品。工艺简便易行,对分离钼和硅具有较大的实用价值。