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用于光波网络的微机电系统(MEMS)和微光机电系统(MOEMS)

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摘要 硅微型机械是个新兴领域,它正使几乎每一科技领域都变得紧凑。在各种领域中,如化学、汽车、细胞和光通讯工业,硅微型机械正成为许多问题解答的选择。本文介绍什么是微机电系统,它们如何制造以及它们对光波网络系统革命有怎样的潜力。正如光开关、可变吸收体、主动平均器、加/减多路传输器、光交叉互连、增益倾斜平衡器、数据传送器和许多其他元件,正开始在先进光波系统中寻找无所不在的应用。本文将给出这些器件的例子,并描述对这种技术可能有数十亿美元市场中所面临的一些挑战。
作者 傅恩生
出处 《激光与光电子学进展》 CSCD 2002年第5期33-34,共2页 Laser & Optoelectronics Progress
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