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电子封装失效分析新技术——双波透射SAM 被引量:1

New Failure Analysis Technology for Microelectronics Packaging-Double Transmission SAM
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摘要 介绍了在反射式SAM技术基础上开发的一种失效分析新技术——双波透射SAM技术的原理和应用特点。该技术依据声波在界面的反射系数R与材料声阴Z的关系,采用双程透射方法,通过入射和反射声波强度的地比分析,对界面缺陷进行定位,它是解决传统反射式SAM技术不能准确探测复杂结 构界面缺陷,替代(单波)透射技术的又一新方法。 The basic principle and the applications of a double through transmission ultrasonic technique used for IC packaging inspection is presented. The technique is applied to identify the internal defects in the thin packages, by analysing the ultrasound energy which goes through and back through the IC package. It overcomes the difficulties of the traditional pulse - echo SAM methods and is the new method instead of the (single) transimission SAM.
出处 《电子产品可靠性与环境试验》 2002年第1期5-8,共4页 Electronic Product Reliability and Environmental Testing
关键词 电子封装 双波透射SAM 扫描声学显微镜技术 双波透射 声阻抗 失效分析 SAM double transmission acoustic impedance failure analyis
  • 相关文献

参考文献1

  • 1古关华 吴文章 等.反射式扫描声学显微镜在电子元器件失效分析中的应用.1997年第七届全国可靠性物理学术讨论会论文集[M].广州:中国电子学会可靠性分会,1997.105-112.

同被引文献1

引证文献1

二级引证文献2

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