化学火焰法(CFD)沉积金刚石薄膜

本文介绍用乙炔一氧火焰沉积金刚石薄膜,在适当的工艺条件下得到的样品,经X射线分折确定为立方结构金刚石,经拉曼谱分析为不含石墨、不含无定型碳的纯金刚石多晶金刚石薄膜。本文还讨论了基底温度对沉积过程的影响,还对金刚石薄膜生长和合成机制进行了讨论。